本产品在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方面采用压缩空气加新风进气口双进风形式，提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法，风机采用一用一备形式，这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。

本产品采用优质不锈钢原料进行制造，根据硅烷与空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷雾处理，使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。

控制系统及注意事项：

1. 不锈钢硅烷燃烧净化塔必须保证负压200Pa左右。

2. PECVD设备真空泵后面必须加装应急燃烧筒。

3. 不锈钢硅烷燃烧净化塔必须采用新工艺，双风机抽风，一用一备。

4. 风机进风口的电动调节阀必须与风机联动。

5. 风机进风口前必须加装碟阀，以控制硅烷燃烧净化装置内负压。

6. 硅烷燃烧净化装置新风补风口必须加装调节阀。

7. 进气管接口外1～1.5米处必须由可以拆装的连接口，以防清除燃烧箱杂物而可以拆除。